一、產(chǎn)品概述：

四探針電阻率測(cè)試儀是一種精密測(cè)量工具，專用于評(píng)估各種材料的電阻率，尤其在半導(dǎo)體和材料科學(xué)領(lǐng)域中具有重要應(yīng)用。該設(shè)備通過(guò)其特殊的四探針設(shè)計(jì)，能夠提供高精度和快速的電阻率測(cè)量，適用于不同類型的固體材料。

二、設(shè)備用途/原理：

·設(shè)備用途

四探針電阻率測(cè)試儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的研發(fā)、電子元件的性能測(cè)試以及新材料的電性能評(píng)估。它能夠幫助研究人員和工程師深入理解材料的導(dǎo)電特性，從而推動(dòng)新技術(shù)的開發(fā)和應(yīng)用。

·工作原理

該儀器的工作原理基于四個(gè)探針的布局，其中外側(cè)探針施加已知電流，內(nèi)側(cè)探針測(cè)量因電流通過(guò)材料而產(chǎn)生的電壓降。通過(guò)歐姆定律和幾何因素的計(jì)算，儀器能夠準(zhǔn)確得出材料的電阻率，減少接觸電阻帶來(lái)的誤差，從而提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。

三、主要技術(shù)指標(biāo)：

1. 應(yīng)用：半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)，新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、Ag納米線等)、導(dǎo)電薄膜(金屬、離子等)，擴(kuò)散層，硅相關(guān)外延材料，離子注入樣品

2. 樣品尺寸：基于所選擇的平臺(tái)而定，圓形樣品大支持300mm(12 inch)，或方形大尺寸730x920mm

3. 測(cè)量范圍：

    V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω

    方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

    電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm