1. 產(chǎn)品介紹

磁控濺射鍍膜機(jī)Sputter

2. 應(yīng)用領(lǐng)域

巨磁電阻（GMR）、組合材料科學(xué)（CMS）、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、納米級(jí)器件、光子學(xué)、光伏（PV）、OLED（發(fā)光二極管）、有機(jī)薄膜。

3. 技術(shù)參數(shù)

最大樣品尺寸：8英寸

濺射源：強(qiáng)磁靶、永磁靶，數(shù)量根據(jù)用戶定制

電源：直流電源、射頻電壓

真空系統(tǒng)：超高真空                              

樣品臺(tái)加熱：最高至1100℃

控制系統(tǒng)：全自動(dòng)控制                            

進(jìn)樣室：根據(jù)用戶需求定制                      

4. 企業(yè)簡介

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。