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當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 其他前道工藝設備 > 8 氧化設備、退火設備 > LSA 101 激光退火爐
簡要描述：Veeco 的 LSA101 系統(tǒng)安裝在的 IDM 和晶圓代工廠，是大批量制造 40nm 至 14nm 節(jié)點的先進邏輯器件的技術(shù)。LSA 101 的掃描技術(shù)基于 Veeco 的可定制 Unity 平臺™構(gòu)建，在均勻性和低應力處理方面具有根本優(yōu)勢。LSA101 系統(tǒng)可實現(xiàn)關(guān)鍵的毫秒級退火應用，使客戶能夠保持精確、有針對性的高加工溫度，從而提高設備性能、降低泄漏和提高產(chǎn)量。
標準 LSA
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-08-13訪 問 量： 442產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
Veeco 的 LSA101 系統(tǒng)安裝在 IDM 和晶圓代工廠，是大批量制造 40nm 至 14nm 節(jié)點的先進邏輯器件的技術(shù)。LSA 101 的掃描技術(shù)基于 Veeco 的可定制 Unity 平臺™構(gòu)建，在均勻性和低應力處理方面具有根本優(yōu)勢。LSA101 系統(tǒng)可實現(xiàn)關(guān)鍵的毫秒級退火應用，使客戶能夠保持精確、有針對性的高加工溫度，從而提高設備性能、降低泄漏和提高產(chǎn)量。
標準 LSA101 配置利用單束窄激光束將晶圓表面從襯底溫度加熱到峰值退火溫度。為了應對日益復雜的工藝需求，Veeco 開發(fā)了一種雙光束技術(shù)，該技術(shù)擴大了非熔融激光退火的應用空間，并具有第二個低功率激光束以實現(xiàn)低溫加工。當使用雙光束時，會結(jié)合第二個更寬的激光束來預熱晶圓。雙光束系統(tǒng)在調(diào)節(jié)溫度和應力分布方面提供了靈活性。
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