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星型全自動涂膠顯影機

簡要描述:KS-S150星型全自動涂膠顯影機用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導(dǎo)體的涂膠顯影等制程??杉嫒菟{寶石、砷化鎵和碳化硅等材質(zhì)的晶圓,產(chǎn)品涉及多個應(yīng)用領(lǐng)域,涂膠機產(chǎn)能大于190片/小時。設(shè)備通過了CSA認證。

  • 產(chǎn)品型號:KS-S150
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-04
  • 訪  問  量: 724

詳細介紹

1.產(chǎn)品概述:

 KS-S150星型全自動涂膠顯影機是由沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司研發(fā)的勻膠顯影設(shè)備,用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導(dǎo)體的涂膠顯影等制程。可兼容藍寶石、砷化鎵和碳化硅等材質(zhì)的晶圓,產(chǎn)品涉及多個應(yīng)用域,涂膠機產(chǎn)能大于190片/小時。設(shè)備通過了CSA認證。

2.應(yīng)用領(lǐng)域

傳感器芯片制造

光通信芯片制造

功率芯片制造

LED芯片制造

圖形化襯底制造

化合物半導(dǎo)體域

3.產(chǎn)品優(yōu)勢

1.占地小、穩(wěn)定性高、操作與維護方便;

2.產(chǎn)能高,涂膠機產(chǎn)能大于190片/小時;

3.光刻膠用量小,4寸用量0.6ml;

4.優(yōu)異的流場設(shè)計,涂膠均勻性好。

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