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全自動液體蠟貼片機

簡要描述:該系列設備適用來鍵合晶片到載具(襯底,陶瓷盤等),操作簡單,搭配不同夾具可實現(xiàn)不同尺寸,不同厚度晶片的鍵合。該系列設備具有兩種模式,半自動和全自動模式。半自動液體蠟貼片機實現(xiàn)自動取片,需要手動搬運陶瓷盤。全自動液體蠟貼片機實現(xiàn)全自動貼片,陶瓷盤搬運等功能。

  • 產(chǎn)品型號:TLB-360FM/485FM
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-04
  • 訪  問  量: 280

詳細介紹

1.  產(chǎn)品概述:

全自動液體蠟貼片機是一種高度自動化的設備,主要用于在半導體制造過程中,將晶片(如硅片)精確地鍵合到載具(如陶瓷盤)上。該設備通過自動化流程,如滴蠟、甩蠟、烘烤、貼片、加壓和冷卻等步驟,完成晶片的貼附工作。

2.  設備用途/原理:

全自動液體蠟貼片機集成了機--光和計算機控制系統(tǒng)技術,通過精密的機械手或傳動系統(tǒng),實現(xiàn)晶片的自動取放、定位、涂蠟、烘烤和壓片等操作。整個過程中,設備能夠精確地控制每個步驟的參數(shù),如甩蠟轉速、烘烤溫度、壓片力度等,以確保晶片貼附的精度和質量。全自動液體蠟貼片機廣泛應用于半導體制造、微電子封裝、光電技術等領域,是這些行業(yè)中關鍵設備之一。它能夠提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本、提升產(chǎn)品質量,并有助于推動相關產(chǎn)業(yè)的技術進步和產(chǎn)業(yè)升級。

3.  設備特點

1 高度自動化:全自動液體蠟貼片機能夠實現(xiàn)從晶片取放到最終貼附的全程自動化,減少人工干預,提高生產(chǎn)效率和一致性。

2 高精度:設備采用先進的控制系統(tǒng)和精密的機械結構,能夠確保晶片貼附的精度和位置準確性。

3 多功能性:通過搭配不同的夾具和工藝參數(shù),該設備可以適應不同尺寸、不同厚度的晶片貼附需求。

4 易操作性:設備通常采用PLC觸摸屏控制,界面友好,操作簡便,易于上手和維護。


  4. 性能參數(shù)


規(guī)格/參數(shù)

TLB-360FM

TLB-485FM

晶圓尺寸

2-6 inch

4-8 inch

陶瓷盤規(guī)格

OD360 mm

OD485 mm

上片方式

全自動

全自動

清洗工位

純水+PVA

純水+PVA

甩蠟轉速

0-3000 RPM

0-3000 RPM

烘烤溫度

Max350℃

Max350℃

壓片裝置

氣囊+氣缸二段壓片

氣囊+氣缸二段壓片

加熱溫度

Max250℃

Max250℃

陶瓷盤冷卻系統(tǒng)


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