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MBE分子束外延系統(tǒng)

簡要描述:GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導(dǎo)體制造的CSindustry獎,采用Veeco成熟的3英寸生長室設(shè)計(jì),并具工藝靈活性,非常適合UV LED、高效太陽能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)的材料研究。其高效的單框架設(shè)計(jì)將所有真空硬件與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合,使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%,從而節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間。

  • 產(chǎn)品型號:GENxplor R&D
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 329

詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品概述:

GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導(dǎo)體制造的CSindustry獎,采用Veeco成熟的3英寸生長室設(shè)計(jì),并具有工藝靈活性,非常適合UV LED、高效太陽能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)的材料研究。其高效的單框架設(shè)計(jì)將所有真空硬件與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合,使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%,從而節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間。由于手動系統(tǒng)集成在一個框架上,因此減少了安裝時(shí)間。GENxplor的開放式架構(gòu)設(shè)計(jì)還提高了易用性,提供了對積液池的便捷訪問,并且與其他MBE系統(tǒng)相比,更容易進(jìn)行維護(hù)。

直徑達(dá) 3 英寸的襯底上的高質(zhì)量外延層

電子束溫度加熱器(>1850°C)

單幀架構(gòu)提高了易用性,提供了便捷的源訪問和增強(qiáng)的可服務(wù)性

高效的一體化設(shè)計(jì)將手動系統(tǒng)與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合,與其他 MBE 系統(tǒng)相比,可節(jié)省 40% 的實(shí)驗(yàn)室空間

非常適合對各種材料進(jìn)行前沿研究,包括砷化鎵、氮化物和氧化物

Molly® 軟件集成了簡單的配方編寫、自動生長控制和始終在線的數(shù)據(jù)記錄

可選的 Nova™ 超高溫基板加熱器,可在 1850° 下提供經(jīng)過驗(yàn)證的性能

可直接擴(kuò)展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系統(tǒng)


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