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當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  其他前道工藝設備  >  10 其他  >  SC28單晶爐

單晶爐

簡要描述:直拉法晶體生長系統(tǒng)SC28單晶爐專為200-300毫米(8-12英寸)單晶硅的工業(yè)生產(chǎn)而設計。該系統(tǒng)可靈活配置,滿足客戶對產(chǎn)品的特殊要求,例如客戶要求的爐室部件的旋出方向,或將各種不同的泵組和除塵罐系統(tǒng)連接到真空系統(tǒng)等要求。

  • 產(chǎn)品型號:SC28
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-15
  • 訪  問  量: 276

詳細介紹

該設備憑借其緊湊型設計、較小的占地面積,以及對提拉頭的巧妙設計可實現(xiàn)超高精度的同時,滿足工業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)的特殊要求??砂凑湛蛻粢筇峁┐艌龅陌惭b配套。

 

產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:

 

最大晶棒直徑: 8- 12英寸

晶棒長度: 長達3,600 毫米

裝料容量: 高達450公斤

熱場: 28英寸 / 32英寸

該晶體生長系統(tǒng)作為半導體行業(yè)的重要組成部分具有以下特點:

精確性:通過精密儀器制造的驅動單元夠實現(xiàn)可重復的工藝控制并生產(chǎn)出最佳品質的晶體。

堅固性:爐體部件由高質量的不銹鋼制成,其內表面經(jīng)過高精度拋光,以便達到耐用性和潔凈等級方面的最高要求。

安全性:高度的自動化和額為增設的安全系統(tǒng)可以確保在先進的生產(chǎn)環(huán)境中使用。

定制化:憑借多年的開發(fā)經(jīng)驗、專業(yè)知識以及提供多種部件更換和組合方式,PVA晶體生長系統(tǒng)根據(jù)不同客戶的特定需求提供最佳解決方案。

支持與服務:您可以通過直接聯(lián)系PVA晶體生長系統(tǒng)專家進行點對點"的溝通,獲得系統(tǒng)的備件服務以及系統(tǒng)的調整和優(yōu)化服務。

偶然將籽晶意外浸入熔融錫中,無意間發(fā)現(xiàn)了目前微電子領域中最重要的晶體生長工藝,該工藝是實現(xiàn)工業(yè)、科學和社會的快速數(shù)字化轉型的基礎。柴可拉斯基法(直拉法)以揚·柴可拉斯基的名字來命名,該技術為工業(yè)化生產(chǎn)而開發(fā),目前用于生產(chǎn)直徑達300毫米、重量為500公斤的硅晶體。為此,當溫度達到大約1410℃時,高純硅作為半導體材料會在石英坩堝中熔化,并通過控制程序,按照工藝要求將單晶硅錠從熔體中拉出。


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