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單晶爐

簡要描述:CGS-Lab單晶爐是PVA產品線中最小的直拉法晶體生長系統(tǒng),專門為研究所和實驗室設計。10 英寸熱系統(tǒng)的設計用于最多 5 公斤的加料量和生長直徑為 100 毫米、長度為 300 毫米的硅錠。設備開爐狀態(tài)時高度為3.4米,對安裝場地的高度要求相當低。晶體提升速度和旋轉速度適用于生產特定尺寸的晶棒。

  • 產品型號:CGS Lab
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 367

詳細介紹

借助用于直徑測量的相機系統(tǒng)和用于溫度測量的兩個高溫計,通過 PLC(可編程邏輯控制器)和 PC 的控制實現(xiàn)自動拉晶工藝。提供適合工廠需求的真空泵和除塵器 (SiO) 系統(tǒng)。

產品數據概覽:

最大晶棒直徑: 4英寸

晶棒長度: 最長300 毫米

裝料容量: 高達5公斤

熱場: 10英寸

該晶體生長系統(tǒng)作為半導體行業(yè)的重要組成部分具有以下特點:

精確性:通過精密儀器制造的驅動單元夠實現(xiàn)可重復的工藝控制并生產出最佳品質的晶體。

堅固性:爐體部件由高質量的不銹鋼制成,其內表面經過高精度拋光,以便達到耐用性和潔凈等級方面的最高要求。

安全性:高度的自動化和額為增設的安全系統(tǒng)可以確保在先進的生產環(huán)境中使用。

定制化:憑借多年的開發(fā)經驗、專業(yè)知識以及提供多種部件更換和組合方式,PVA晶體生長系統(tǒng)根據不同客戶的特定需求提供最佳解決方案。

支持與服務:您可以通過直接聯(lián)系PVA晶體生長系統(tǒng)專家進行點對點"的溝通,獲得系統(tǒng)的備件服務以及系統(tǒng)的調整和優(yōu)化服務。

偶然將籽晶意外浸入熔融錫中,無意間發(fā)現(xiàn)了目前微電子領域中最重要的晶體生長工藝,該工藝是實現(xiàn)工業(yè)、科學和社會的快速數字化轉型的基礎。柴可拉斯基法(直拉法)以揚·柴可拉斯基的名字來命名,該技術為工業(yè)化生產而開發(fā),目前用于生產直徑達300毫米、重量為500公斤的硅晶體。為此,當溫度達到大約1410℃時,高純硅作為半導體材料會在石英坩堝中熔化,并通過控制程序,按照工藝要求將單晶硅錠從熔體中拉出。



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