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SES系列 8英寸多片硅外延系統(tǒng)為單腔多片式硅外延設(shè)備，適用于4、5、6、8英寸的硅外延工藝。SES系列反應(yīng)腔室采用多片平板式的結(jié)構(gòu)，配合感應(yīng)加熱的方式實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的外延薄膜生長(zhǎng)，適用于厚度5-150µm范圍的外延工藝，精確可調(diào)N型、P型摻雜。該設(shè)備智能化人機(jī)交互設(shè)計(jì)與高效的安全互鎖保障了系統(tǒng)安全和穩(wěn)定。

刻蝕機(jī)終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng) 檢測(cè)原理：通過特定波長(zhǎng)譜線的強(qiáng)度變化來反映是否達(dá)到刻蝕終點(diǎn)。